升华泵的抽气机理是什么?
升华泵的抽气机理是化学吸附。主要部件是由活性金属钛(Ti)制作的灯丝，通过电流加热灯丝，使得金属钛升华并吸附沉积在冷的泵体壁面上，形成一层钛膜。由于钛的化学活性高，对氮、氧和一氧化碳等活性气体具有比较强烈的吸附作用，并生成氮化钛、碳化钛和氧化钛等稳定的化合物，从而实现排气的目的。
钛膜上已吸附气体分子的位置不能再吸附气体。因此，升华泵内的灯丝必须不断地升华，使泵体壁面上沉积新的钛膜，才能达到连续抽气的目的。
离子泵的基本原理是什么?
离子泵由强磁铁、蜂窝状阳极、钛(Ti)阴极构成。离子泵的基本原理是在两电极之间加上足够大的电压，电离气体分子从而产生离子，离子撞击阴极而被阴极捕捉，同时也产生溅射效果。阴极材料用金属 Ti 制作，金属 Ti 被溅射后，在腔体的内壁连续形成活性膜，继续和气体分子反应，从而不断进行排气。由于磁场的存在，阴极放电可维持在极低的压强下。
关键词： 抽气机理 基本原理 一氧化碳 活性气体升华泵的抽气机理是什么?升华泵的抽气机理是化学吸附。主要部件是由活性金属钛(Ti)制作的灯丝，通过电流加热灯丝，使得金属钛升华并吸附沉
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